单层石墨烯极低的面密度和高强度使其在纳米电子机械系统谐振器上有很大的潜在应用。这些可以作为一系列高度敏感的传感器的基础如质量、力、位移传感器。此次演讲将介绍制备孔适当排布阵列的基底的方法，在此基底上，化学气相沉积制备的石墨烯可以被有效转移。这提供了直径在1微米到40微米之间的石墨烯鼓。往基底上转移的方法最优化的结果使得聚合物污染物的含量最小。使用拉曼光谱用来确认被转移的膜的层数，使用扫描探针显微镜（原子力显微镜）和扫描Kelvin探针显微镜（SKPM）来观测石墨烯鼓上宽的选区。前者用来描绘数个鼓间的表面的力－偏转曲线，可以导出悬浮石墨烯的杨氏模量。将石墨烯鼓安装在压电振子上来测试机械共振性能。然后采用扫描近场微波显微镜来测试石墨烯鼓在变化的压电驱动频率下的谐振频率。共振频率和Q值的结果为测量悬浮薄膜的机械性能提供了另一种方法。这些石墨烯鼓应用的一个关键因素在于优化其机械性能因子Q，因为此因子决定了力、质量导致的位移检测的灵敏度。Q因子的初始值在50左右，但我们通过关注底层基底结构将其提升到10倍。同时我们还提供一种将薄膜之下井内空气去除的方法，通过深反应离子刻蚀（Bosch工艺）在整个0.5毫米厚的基底上从井的底部刻蚀出一个空洞来。

　　单层石墨烯极低的面密度和高强度使其在纳米电子机械系统谐振器上有很大的潜在应用。这些可以作为一系列高度敏感的传感器的基础如质量、力、位移传感器。此次演讲将介绍制备孔适当排布阵列的基底的方法，在此基底上，化学气相沉积制备的石墨烯可以被有效转移。这提供了直径在1微米到40微米之间的石墨烯鼓。往基底上转移的方法最优化的结果使得聚合物污染物的含量最小。使用拉曼光谱用来确认被转移的膜的层数，使用扫描探针显微镜（原子力显微镜）和扫描Kelvin探针显微镜（SKPM）来观测石墨烯鼓上宽的选区。前者用来描绘数个鼓间的表面的力－偏转曲线，可以导出悬浮石墨烯的杨氏模量。将石墨烯鼓安装在压电振子上来测试机械共振性能。然后采用扫描近场微波显微镜来测试石墨烯鼓在变化的压电驱动频率下的谐振频率。共振频率和Q值的结果为测量悬浮薄膜的机械性能提供了另一种方法。这些石墨烯鼓应用的一个关键因素在于优化其机械性能因子Q，因为此因子决定了力、质量导致的位移检测的灵敏度。Q因子的初始值在50左右，但我们通过关注底层基底结构将其提升到10倍。同时我们还提供一种将薄膜之下井内空气去除的方法，通过深反应离子刻蚀（Bosch工艺）在整个0.5毫米厚的基底上从井的底部刻蚀出一个空洞来。